Corte de amostras de silício com filmes finos de plástico

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Como eu poderia cortar o filme fino de plástico e o silicone quebradiço simultaneamente? Estou tendo acesso ao nitrogênio líquido em mais ou menos uma semana com a intenção de congelar a amostra. Existe um processo de temperatura ambiente que me permita preparar amostras enquanto isso?

Nitrogênio líquido teve um desempenho ruim neste caso. A mudança de temperatura e tensão estourou o filme relativamente grosso diretamente do substrato!

Os melhores resultados foram alcançados com o revestimento de pequenas amostras quadradas em epóxi. Permitiu que as amostras fossem cortadas com uma serra de diamante, sem fraturar o silício. As marcas das ferramentas eram aparentes e o filme sofreu, mas, neste caso, foi suficiente para estimar a espessura do filme.