Como é fabricado um filtro Bayer?

Na sequência de uma pergunta anterior sobre filtros bayer, fiquei me perguntando:

Como eles são realmente fabricados? Como eles aplicam uma quantidade tão pequena de corante a cada sub pixel?

Meu melhor palpite seria algum tipo de ataque químico baseado em ótica, seguido de um banho de corante ... (por cor)

Do resumo deste artigo Conjunto de filtros de cores para sensores de imagem CCD e CMOS usando um fotorresistente de tom positivo pré-tingido quimicamente amplificado e quimicamente amplificado para litografia de 365 nm

O fotorresiste de diazonaftoquinona-novolak é usado para produzir esses filtros, depositando e padronizando sucessivamente cada camada de cor.

Meu entendimento desta citação é que o processo é o seguinte

1. O fotorresistente (um polímero e um agente de sensibilização que é relativamente transparente no visível, mas que absorve fortemente a radiação UV a partir de 450 nm) com um corante adicionado (vermelho, verde ou azul) é depositado sobre a superfície do sensor
2. Uma máscara com padrão de metal é colocada sobre o fotorresiste
3. A região não mascarada do fotorresistente é exposta por uma fonte de luz UV na qual a diazononaftoquinona é transformada
4. A máscara é removida
5. O fotorresistente exposto é dissolvido com um solvente aquoso, a área não exposta não se dissolve tão rapidamente e, portanto, permanece
6. 1-5 são repetidos usando corantes diferentes e máscaras diferentes

Veja en.wikipedia.org/wiki/Diazonaphthoquinone para obter uma descrição de como esse fotorresiste funciona.